PET衬底上ITO薄膜的制备及光电性能

• 作者: 于洋 刘贵山 姜妍彦 张海涛 徐书林 杨坤 王海权 胡志强
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 脉冲磁控溅射 氧化铟锡薄膜 PET
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 材料与工艺
• 页码范围: 71-76
• 页数: 6页
• 分类号: TB34
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2014.03.013

摘要

用脉冲磁控溅射法在柔性衬底聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,研究了溅射气压、时间和衬底温度等工艺条件对ITO薄膜光电性能的影响,并采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)对薄膜的物相结构与表面形貌进行了分析.结果表明:薄膜的平均晶粒尺寸随衬底温度的升高而增大;当溅射时间增加时,方块电阻与光透过率均减小;当衬底温度升高时,方块电阻减小,可见光透过率增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡志强	大连工业大学新能源材料研究所	67	242	8.0	11.0
2	姜妍彦	大连工业大学新能源材料研究所	22	154	7.0	12.0
3	刘贵山	大连工业大学新能源材料研究所	48	121	6.0	9.0
4	徐书林	大连工业大学新能源材料研究所	2	9	2.0	2.0
5	于洋	大连工业大学新能源材料研究所	3	8	2.0	2.0
6	王海权	大连工业大学新能源材料研究所	2	6	1.0	2.0
7	杨坤	大连工业大学新能源材料研究所	1	6	1.0	1.0