考虑悬浮哑元的结构化随机行走电容提取算法

• 作者: 孙泽武 曾璇 朱恒亮
• 来源期刊: 复旦学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 电容提取 悬浮哑元 随机行走 区域分解
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 集成电路设计
• 页码范围: 9-16,23
• 分类号: TM344.1
• 语种: 中文

摘要

为了解决化学机械抛光(CMP)工艺带来的芯片平整性问题,集成电路制造工艺越来越多地选择向电路版图中填充金属哑元.然而,电路中的大量金属哑元大幅增加了互连线的寄生电容值.在提取含大量哑元电路的寄生电容时,传统寄生电容提取算法的效率会受到明显影响.提出了一种基于随机行走的寄生电容提取算法,利用区域分解技术,将哑元区域划分为多个子区域,通过对具有相同结构的标准子区域建立宏模型,并计算其马尔可夫转移矩阵,利用转移概率实现哑元区域内的“行走”.同传统算法相比,在保证提取精度的前提下,方法具有更快的提取速度.此外,宏模型的建立可以避免对标准哑元结构的重复计算,提高计算结果的复用率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾璇	复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室	34	66	4.0	6.0
2	朱恒亮	复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室	7	8	1.0	2.0
3	孙泽武	复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室	1	0	0.0	0.0