含Si-O-P键的减反膜结构及性能影响因素研究

• 作者: 王燕 王红宁 陈若愚
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: SiO2水溶胶 磷酸 双氧水 Si-O-P桥键 减反膜
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 639-644
• 页数: 6页
• 分类号: TB34
• 字数: 4547字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1077.2014.13416

摘要

采用SiO2水溶胶(ACS)为硅源， H3PO4为桥联剂， H2O2为活化剂在玻璃表面成功制备了一种性能优异的新型减反膜。利用FTIR、XRD、FESEM、TEM、AFM对薄膜结构、形成机理及性能进行了研究，结果表明，在成胶过程中， H2O2的导入有效修复了SiO2胶粒的表面羟基，提高了SiO2的反应活性；而在焙烧过程中， H3PO4通过其自身脱水形成的偏磷酸链状体分别与 SiO2胶粒及玻璃基底表面的 Si-OH 进行了脱羟基缩聚，构架了坚固的Si-O-P网络交联，最终形成了稳定的磷硅酸盐凝胶网络结构，提高了成膜质量。当n(H3PO4)：n(H2O2)：n(EtOH)：n(SiO2)=0.49：0.52：30：1时，制备的SiO2减反膜在可见光区平均透光率高达98%，硬度可达6H。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王红宁	常州大学石油化工学院	22	88	4.0	9.0
2	陈若愚	常州大学石油化工学院	51	140	7.0	8.0
3	王燕	常州大学石油化工学院	12	66	4.0	8.0