玻璃衬底多晶硅薄膜太阳电池

• 作者: 吴波 王伟杨 魏相飞
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜太阳电池(TFSC) 多晶硅 玻璃衬底 快速热退火 氢钝化 固相晶化 液相晶化
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 器件与技术
• 页码范围: 17-23
• 分类号: TM914.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.01.003

摘要

玻璃衬底多晶硅薄膜太阳电池因具有成本低廉、转换效率高以及性能稳定等优点引起了人们的广泛关注.详细阐述了玻璃衬底多晶硅薄膜太阳电池的两种典型结构、基本制备流程及其关键工艺对太阳电池性能的影响,还介绍了玻璃衬底制备多晶硅薄膜的直接制备技术、固相晶化技术、液相晶化技术和籽晶层技术以及玻璃衬底多晶硅薄膜太阳电池的研究现状.由于薄膜太阳电池性能的好坏直接取决于薄膜的质量,所以关键工艺中的快速热退火和氢钝化能显著提高电池性能.然而,至今各种制备方法都不够成熟,不能规模化制备多晶硅薄膜,因此改进和发展现有多晶硅薄膜的制备技术是今后玻璃衬底多晶硅薄膜太阳电池研究的核心课题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴波	上饶师范学院物理与电子信息学院	39	116	6.0	9.0
2	王伟杨	上饶师范学院物理与电子信息学院	9	12	2.0	3.0
3	魏相飞	皖西学院材料与化工学院	18	25	3.0	3.0