大气压电离质谱在超高纯气体纯度分析中的应用

• 作者: 张体强 胡树国 韩桥
• 来源期刊: 分析测试学报
• 学科: 化学
• 关键词: 大气压电离质谱(APIMS) 超高纯气体 纯度 杂质 分析
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 854-858
• 页数: 5页
• 分类号: O657.63|O659
• 字数: 4346字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4957.2014.07.020

摘要

超高纯气体在工业领域有着重大的需求,必须有相应的高灵敏度杂质检测技术作为支撑.大气压电离质谱(APIMS)具有非常高的灵敏度,通常比电子轰击质谱(EIMS)高104～ 106倍,是分析超高纯气体纯度最有效的方法.该文介绍了APIMS的产生、发展及电离原理,并综述了以往APIMS对超高纯气体纯度分析的工作,包括底气、杂质种类、杂质检出限及特殊杂质的检测方法.由于方法灵敏度对超高纯气体纯度分析至关重要,文中侧重总结了文献中报道的不同杂质的检出限.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩桥		41	141	6.0	10.0
2	张体强		10	23	4.0	4.0
3	胡树国		45	171	8.0	10.0