衬底温度对磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜的结构和光电性能的影响

• 作者: 范丽琴
• 来源期刊: 物理实验
• 关键词: 掺铝氧化锌薄膜 衬底温度 电阻率 透射率
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 实验教学
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 字数: 3791字
• 语种: 中文

摘要

利用射频磁控溅射在石英基片上沉积掺铝氧化锌薄膜，研究了衬底温度对薄膜结构和光电性能的影响．当给衬底加热时，X射线衍射观测（002）峰相对强度明显增强．在衬底温度250℃下制备的薄膜的晶粒尺寸最大，为24．9 nm ，表面粗糙度最小，为8．1 nm ，表明在衬底温度250℃下制备的薄膜的结晶效果最好．衬底温度从30℃升高到250℃，薄膜的电阻率相应地从14．35×10-4Ω· cm降低到7．18×10-4Ω· cm ，随着衬底温度的升高，电阻率反而增大．所有样品在可见光区的平均光学透射率都大于85％．引入品质因子分析薄膜的光电性能，当衬底温度为250℃时，品质因子最大为16．15×10-3Ω-1，其光电性能最好．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范丽琴	华侨大学厦门工学院	4	12	3.0	3.0