基于AlN轮廓模式矩形盘谐振器的研究

• 作者: 李丰 李丽 李宏军 要志宏 郑升灵
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铝(AlN) 轮廓模式 体声波 矩形盘谐振器
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TN75
• 字数: 1710字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种微型化体声波谐振器的理论模型和实作结果,采用微电子和微机械加工技术,实现了一种上、下电极覆盖压电AlN的“三明治”空气腔悬梁结构.该谐振器具有微型化,高品质因数,低成本的特点,实作的谐振器频率约20 MHz,品质因数为800,机电耦合系数约0.5％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑升灵	中国电子科技集团公司第十三研究所十六专业部	9	35	3.0	5.0
2	李宏军	中国电子科技集团公司第十三研究所十六专业部	22	53	5.0	7.0
3	李丽	中国电子科技集团公司第十三研究所十六专业部	27	94	6.0	9.0
4	要志宏	中国电子科技集团公司第十三研究所十六专业部	16	48	4.0	6.0
5	李丰	中国电子科技集团公司第十三研究所十六专业部	6	30	3.0	5.0