高激光损伤阈值化学膜透射元件的研制

• 作者: 张清华 李晓光 沈军
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 激光损伤 二氧化硅薄膜 溶胶-凝胶 超级抛光
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 763-768
• 页数: 6页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/yzk.2014.48.04.0763

摘要

以K9和熔石英玻璃为基底结合溶胶-凝胶镀膜技术，制备了用于负载1064 nm和355 nm激光辐射的高损伤阈值透射玻璃元件。综合考虑基底表面和亚表面质量及薄膜质量，系统分析了影响激光损伤阈值的因素，并通过基底加工与薄膜改性的结合大幅提高了元件的损伤阈值。在薄膜改性方面，采用溶胶内添加聚乙二醇和氨气氛处理相结合的方法，使薄膜的结构缺陷减少，孔径分布更合理，所得薄膜的抗激光损伤能力远大于未处理的基底的。在基底加工方面，采用超级抛光和化学腐蚀的方法获得了超光滑表面和低缺陷亚表面，使用于红外波段的K9玻璃和紫外波段的熔石英玻璃的激光损伤阈值分别提高到原来的1.3和4.1倍。将上述改性后的薄膜镀在改性后的基底上，所得透射元件的激光损伤阈值不小于相应基底的。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈军	同济大学物理科学与工程学院	199	2285	26.0	36.0
5	李晓光	同济大学物理科学与工程学院	5	39	3.0	5.0
9	张清华		18	154	7.0	12.0