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摘要:
本文介绍了干法清洗中发展较快、优势明显的等离子体清洗的机理、类型、工艺特点等。并根据在低气压下由直流辉光放电产生等离子体的方法,研制了一种适用于 PCB微切片清洗的等离子体清洗机,同时对该等离子体清洗机的真空系统、高压电源、控制过程的设计作出了详细的说明。
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文献信息
篇名 一种低温等离子体清洗机的研制
来源期刊 真空 学科 工学
关键词 等离子体清洗 PCB 直流辉光放电 真空度 高压电源
年,卷(期) 2014,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 25-31
页数 7页 分类号 TN405.98+3
字数 7161字 语种 中文
DOI
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节点文献
等离子体清洗
PCB
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真空度
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期刊影响力
真空
双月刊
1002-0322
21-1174/TB
大16开
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
8-30
1964
chi
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