类金刚石薄膜对Low-E膜系的保护作用分析

• 作者: 付静 刘超英 张凡 张洋 徐志伟 穆元春 陈玮
• 来源期刊: 玻璃与搪瓷
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 Low-E玻璃 耐洗刷 耐腐蚀性 热稳定性
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与实验报告
• 页码范围: 14-18,4
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 2597字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13588/j.cnki.g.e.1000-2871.2014.06.004

摘要

采用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD),在Low-E玻璃表面沉积类金刚石(DLC)薄膜作为保护层,通过耐洗刷试验和耐酸腐蚀试验研究了DLC薄膜对Low-E膜系的保护作用;同时对镀DLC薄膜的Low-E玻璃进行热处理,研究热处理后Low-E玻璃膜层结构、低辐射性能和光学性能的变化;然后通过摩擦磨损实验对镀DLC膜提高Low-E玻璃耐洗刷的原因进行分析.结果表明:DLC膜能够有效提高Low-E玻璃耐洗刷性和耐酸腐蚀性;并且DLC膜可以通过热处理去除,且热处理后的Low-E低辐射性能和光学性能未受到影响;一定厚度DLC膜能够有效降低Low-E玻璃摩擦系数,是提高Low-E玻璃耐磨性的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	穆元春		15	14	2.0	3.0
2	付静		18	49	3.0	6.0
3	张凡		28	15	1.0	3.0
4	刘超英		15	14	2.0	3.0
5	徐志伟		16	9	2.0	2.0
6	陈玮		17	9	2.0	2.0
7	张洋		19	47	4.0	6.0