氧化铟锡薄膜材料制备及其光电特性研究

• 作者: 周炳卿 张丽丽 张林睿 张龙龙 高玉伟
• 来源期刊: 内蒙古师范大学学报（自然科学汉文版）
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 ITO 薄膜 方块电阻 透射率 光电性能
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 物理科学与技术
• 页码范围: 290-294
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 4004字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶旋转涂膜法,以 InCl3·4H 2 O 和 SnCl4·5 H 2 O 为前驱物在玻璃基片上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜材料,研究掺锡浓度、涂膜层数、热处理温度和热处理时间等工艺条件对 ITO 薄膜光电特性的影响.实验结果表明,ITO 薄膜的方块电阻和可见光透射率都与掺锡浓度、涂膜层数、热处理温度和时间等因素有关,最佳参数为锡掺杂量12wt%,热处理温度和时间分别为450℃和1 h,薄膜层数为6层.最佳 ITO 薄膜的方块电阻为185Ω/□,可见光平均透射率为91.25%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周炳卿	内蒙古师范大学物理与电子信息学院	45	134	6.0	8.0
2	张丽丽	内蒙古师范大学物理与电子信息学院	11	27	3.0	4.0
3	张林睿	内蒙古师范大学物理与电子信息学院	16	48	4.0	5.0
4	高玉伟	内蒙古师范大学物理与电子信息学院	3	13	2.0	3.0
5	张龙龙	内蒙古师范大学物理与电子信息学院	3	13	2.0	3.0