新型声表面波湿度传感器

• 作者: 王心语 童筱钧
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 乐甫波 声表面波(SAW) 湿度传感器 相对湿度 二氧化硅(SiO2)
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 115-119
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.02.009

摘要

为解决目前常用电容式湿度传感器存在的误差较大和一致性较差的问题,提出了采用常压化学气相淀积(APCVD)法制备的多孔SiO2膜作为吸湿材料的乐甫波声表面波(SAW)传感器感知湿度.基片采用42.75°旋转Y轴切割石英材料,乐甫波传播方向为[0°,132.75°,90°],SiO2湿敏膜厚度为0.5μm.实验结果表明:此湿度传感器灵敏度约为62 kHz/RH％,在相对湿度为50％时,最大湿滞约3％.测得的湿敏特性和迟滞特性表明,乐甫波声表面波湿度传感器线性度较好,实验证实该湿度传感器具有很好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	童筱钧	常州工学院电子信息与电气学院	4	16	3.0	4.0
2	王心语	南京大学声学研究所近代声学教育部重点实验室	1	5	1.0	1.0