基于环形肖特基二极管的MEMS陀螺仪接口ASIC电路温度特性分析与设计

• 作者: 刘明星 张雅聪 李小亮 沈广冲 陈中建 鲁文高
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: ASIC MEMS陀螺仪 环形肖特基二极管 温度特性
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 299-303
• 页数: 5页
• 分类号: V241.5
• 字数: 3717字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.03.004

摘要

完成了采用环形二极管结构的MEMS陀螺仪接口ASIC电路设计并且理论分析了环形肖特基二极管的温度特性对电路输出的影响。 MEMS陀螺仪系统采用高频载波调制方案，在陀螺仪可动质量块施加1MHz载波，将陀螺仪振动信号调制到载波附近。环形肖特基二极管作为调制解调器，解调陀螺仪输出已调信号得到陀螺仪振动信号。这种方案可以有效放大陀螺仪输出信号。理论和仿真结果表明，肖特基二极管阈值电压随温度的变化会改变电路增益，引入一个正温度系数。采用负温度系数反馈电阻，从而降低电路总的温度系数。 ASIC电路基于0.18μm CMOS工艺实现。