基于红外双光路的薄膜在线测厚系统的研究

• 作者: 曹智颖 赵斌
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测量与计量 薄膜测厚 红外 双光路
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 196-200
• 页数: 5页
• 分类号: TN247|TH741
• 字数: 2574字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.02.011

摘要

红外测厚是薄膜在线测厚的主要方法之一，为了解决传统的红外测厚方法中尚存在的易受光源稳定性的影响、不适用于高速薄膜生产线等缺点，采用双光路参比测量的方法设计了一种双光路红外测厚系统，系统将光源的光分成测量路和参考路两路，并使用单个CCD同时收集两路光作为光强传感器。描述了系统的成像原理，讨论了系统对朗伯定律的适用性，最后通过对聚乙烯和聚四氟乙烯薄膜的标定实验论证了系统的精度。结果表明，该方法精度高、鲁棒性好，且能够有效避免光源不稳定带来的影响。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵斌	华中科技大学机械科学与工程学院仪器科学与技术系	50	329	11.0	14.0
2	曹智颖	华中科技大学机械科学与工程学院仪器科学与技术系	1	3	1.0	1.0