无需参考信号的单晶炉温度干扰抑制新方法

• 作者: 刘丁 张新雨 杨文 梁军利 汪姣
• 来源期刊: 西安理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶炉热场温度 低频干扰 干扰抑制 自适应对消法 迭代自适应法
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 页码范围: 379-385
• 页数: 7页
• 分类号: TP14|TP274
• 字数: 5043字
• 语种: 中文

摘要

为有效地抑制单晶炉热场温度测量值中的低频干扰,改善热场温度的估计精度,提出了一种无需参考信号的新的自适应对消法.该方法将迭代自适应法引入自适应对消法中,利用迭代自适应法从输入信号中逐个估计低频干扰分量,并且在估计每个干扰分量的过程中能够减少其它分量的影响,将各个干扰分量消除.仿真和工程实验结果表明,该方法在无需参考信号的条件下,能够准确地估计各个干扰分量,从而有效地抑制单晶炉热场温度测量值中的干扰,优于现有方法,符合单晶炉热场温度控制系统的工艺要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘丁	西安理工大学自动化与信息工程学院	196	3213	31.0	45.0
2	张新雨	西安理工大学自动化与信息工程学院	8	58	4.0	7.0
3	梁军利	西安理工大学自动化与信息工程学院	9	37	5.0	6.0
4	杨文	西安理工大学自动化与信息工程学院	4	16	2.0	4.0
5	汪姣	西安理工大学自动化与信息工程学院	2	4	2.0	2.0