AlGaN MSM结构日盲型紫外探测器

• 作者: 张保花 杨莲红 王俊珺 魏伟
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 日盲型 紫外探测器 金属有机化学气相沉积法 AlGaN 光谱响应
• 年，卷（期）: 2014,（20）
• 所属期刊栏目: 电子与信息器件
• 页码范围: 120-122,126
• 页数: 4页
• 分类号: TN23-34
• 语种: 中文

摘要

采用低压-金属有机化学气相沉积（MOCVD）法在（0001）方向的AlN/蓝宝石模板上生长得到Al组分为40%的AlGaN材料，设计并制作了MSM型AlGaN 日盲紫外探测器。通过HRXRD，SEM，AFM对AlGaN材料进行了表征，结果表明：该材料为六方相结构，且应变程度很小，粗糙度（RMS）为1.32 nm。通过测试器件在230~320 nm之间、在不同偏压下的光谱响应曲线，发现器件的截止波长在285 nm附近，截止边很陡峭；器件的峰值响应波长为275 nm；在7 V偏压下，器件峰值响应度达到最大2.8 mA/W；零偏压下，器件的暗电流1×10-13A，器件的暗电流很小。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨莲红	昌吉学院物理系	33	79	6.0	7.0
2	张保花	昌吉学院物理系	27	55	4.0	5.0
3	王俊珺	昌吉学院物理系	7	6	2.0	2.0
4	魏伟	昌吉学院物理系	4	3	1.0	1.0