大面积枕型二维位敏探测器的研制

• 作者: 向勇军 莫彦祎 黄烈云
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 物理学
• 关键词: 二维位敏探测器 大面积 枕型 横向光电响应 Gear定理
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 211-213
• 分类号: O482.7
• 语种: 中文

摘要

在简要分析二维位敏探测器工作原理的基础上,详细介绍了一种大面积枕型二维位敏探测器的结构设计和制作工艺.对器件响应度、暗电流、位置分辨率,以及位置线性度等性能参数进行了分析.测试结果显示,器件在峰值波长λp=930 nm处的响应度达0.63 A/W,暗电流小于300 nA(VR=10 V),位置分辨率小于10 μm,位置非线性度小于5％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	向勇军		9	70	5.0	8.0
2	黄烈云		11	66	4.0	8.0
3	莫彦祎		1	3	1.0	1.0