液相外延碲镉汞材料组分均匀性改善

• 作者: 万志远 吴军 李沛 毛旭峰 韩福忠
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 石墨舟 碲镉汞 组分均匀性 LPE
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 973-975
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.2+5
• 字数: 1596字
• 语种: 中文

摘要

由碲镉汞薄膜材料的厚度不均匀性入手，改进水平滑舟液相外延工艺，从而改善了碲镉汞薄膜材料组分均匀性，使距薄膜边缘1.5 mm（衬底边缘2.5 mm）以内的薄膜材料组分均匀性得到了长足的提高，增大了薄膜材料用于制备焦平面器件的利用率。中波碲镉汞材料（?1/2(77 K)＝4.8?m）?x≤0.001，与国外水平相当。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩福忠		19	61	5.0	6.0
2	吴军		11	22	3.0	4.0
3	李沛		4	8	2.0	2.0
4	毛旭峰		4	6	1.0	2.0
5	万志远		5	8	2.0	2.0