CZ法制备单晶硅相变界面形状演变及控制研究

• 作者: 刘丁 姜雷 焦尚彬 赵跃
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 固液界面 数值模拟 直拉法 单晶硅
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 页码范围: 247-252
• 页数: 6页
• 分类号: O78
• 字数: 3449字
• 语种: 中文

摘要

建立描述CZ-Si系统中动量、热量和质量同时传递,且流固耦合的模型,数值模拟CZ法制备单晶硅等径过程中在热传导、热对流等因素耦合作用下的固液相变问题,给出相变界面形状的演变过程.计算结果表明,等径前期和中期相变界面形状变化主要是由于晶体散热的改变,后期则是由于熔体中自然对流和强迫对流关系的反转.从全局的角度分析改善界面形状的控制方法,提出变晶转制备工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘丁	西安理工大学国家联合晶体生长设备及系统集成工程研究中心	196	3213	31.0	45.0
2	赵跃	西安理工大学国家联合晶体生长设备及系统集成工程研究中心	19	130	8.0	10.0
3	焦尚彬	西安理工大学国家联合晶体生长设备及系统集成工程研究中心	55	764	15.0	26.0
4	姜雷	西安理工大学国家联合晶体生长设备及系统集成工程研究中心	5	25	4.0	5.0