一种新型二维MEMS扭转镜的设计及实现

• 作者: 张国庆 张玉冲 王松杰
• 来源期刊: 航空兵器
• 学科: 工学
• 关键词: 微光机电系统( MEMS ) 二维扭转镜 SOI工艺 静电驱动
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 航空武器技术
• 页码范围: 38-40
• 页数: 3页
• 分类号: TP271+.4
• 字数: 1679字
• 语种: 中文

摘要

二维MEMS扭转镜广泛应用于光纤通讯、投影显示、数据存储、精密测量、医疗成像和生物技术等国防和民用领域。在分析二维MEMS扭转镜工作原理的基础上，利用L-edit软件对二维MEMS扭转镜器件的版图进行了设计。基于SOI （ Silicon-On-Insulator ）制作工艺，确定了扭转镜器件加工工艺流程，按照工艺流程成功制造出二维扭转镜样件，并对制作完成后的器件进行初步的性能测试，获得了不同的扫描图形。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国庆		7	11	2.0	3.0
2	王松杰		6	7	2.0	2.0
3	张玉冲		3	5	1.0	2.0