单晶硅制绒的实验研究

• 作者: 廖华 廖承菌 李学铭 杨培志 杨雯 段良飞 王兴普
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅 抛光 各向异性 绒面
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 页码范围: 242-246
• 页数: 5页
• 分类号: TM615
• 字数: 2779字
• 语种: 中文

摘要

为制备具有理想金字塔织构表面的单晶硅,采用原硅片、碱体系抛光硅片、酸体系抛光硅片分别在氢氧化钠/硅酸钠/异丙醇(NaOH/Na2SiO3·9H2O/IPA)体系、NaOH/IPA体系、碳酸钠/碳酸氢钠(Na2CO3/NaHCO3)体系下对单晶硅表面织构进行实验研究.利用智能型数字显微镜对表面形貌进行观察,利用紫外-可见-近红外分光光度计测量反射光谱.结果表明:酸体系抛光硅片的表面较为平整,再通过NaOH/Na2SiO3·9 H2O/IPA体系制备的金字塔绒面结构完整、排布紧密、大小一致,且具有较低的反射率.