磨料与工件对集群磁流变效应抛光垫磨粒“容没”效应的影响

• 作者: 周旭光 白振伟 阎秋生
• 来源期刊: 组合机床与自动化加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁流变效应抛光垫 磨粒“容没”效应 损伤 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 设计与研究
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: TH162|TG506
• 字数: 3500字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13462/j.cnki.mmtamt.2014.10.007

摘要

磁流变液在外加磁场的作用下，在抛光盘与工件表面之间形成粘弹性集群磁流变效应抛光垫产生磨粒“容没”效应，本文以加工工件表面粗糙度Ra/Rv与表面形貌为指标，通过在磁流变抛光液中掺杂粗大磨粒对无表面损伤的单晶硅片、K9光学玻璃、碳化硅晶片进行抛光实验，讨论磨料种类、工件材质对群磁流变效应抛光垫磨粒“容没”效应作用的影响。实验结果表明：集群磁流变效应抛光垫对金刚石与氧化铈磨粒均表现出显著的“容没”效应效果。当抛光单晶碳化硅晶片时，相比金刚石磨粒，集群磁流变效应抛光垫“容没”氧化铈磨粒的效果更佳。而当工件的硬度接近主体磨粒的硬度时，集群磁流变效应抛光垫将表现出更加显著的“容没”效应效果。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周旭光	深圳职业技术学院机电工程学院	30	65	5.0	7.0
2	阎秋生	广东工业大学机电工程学院	146	787	13.0	20.0
4	白振伟	广东工业大学机电工程学院	8	63	4.0	7.0