相干扫描显微镜测量噪声和残余平面度校准方法的研究

• 作者: 施玉书 李伟 李琪 李适 沈飞 王兴旺 陈思文 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 相干扫描显微镜 测量噪声 残余平面度
• 年，卷（期）: 2014,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量
• 页码范围: 126-129
• 页数: 4页
• 分类号: TB921
• 字数: 2659字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2014.z1.030

摘要

介绍了相干扫描显微镜的测量原理.提出了使用经校准的碳化硅超光滑圆盘作为标准平面,校准相干扫描显微镜的测量噪声和残余平面度特性.其中测量噪声通过先重复测量标准平面同一位置的表面形貌图,再使用相减法处理得到;残余平面度通过先多次重复测量标准平面不同位置的表面形貌图,再使用阈值法处理得到.最后基于此方法对中国计量科学研究院的相干扫描显微镜进行了校准实验,结果表明:使用1次相减法即可校准测量噪声,残余平面度可通过在标准平面上不同位置处做10次以上重复测量并求其平均形貌来校准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李伟		27	92	5.0	8.0
2	施玉书		35	121	5.0	8.0
4	李琪		21	48	4.0	5.0
7	李适		11	25	3.0	4.0
8	陈思文	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	4	4	2.0	2.0
9	沈飞		1	0	0.0	0.0
10	王兴旺	北京化工大学机电工程学院	1	0	0.0	0.0