Si过渡层类金刚石薄膜界面优化及其性能研究

• 作者: 张广安 王军军 王立平 蒲吉斌
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 等离子体化学气相沉积 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 531-537
• 分类号: TH117.1
• 语种: 中文

摘要

本文中利用等离子体化学气相沉积法,制备了具有Si过渡层的DLC薄膜.利用俄歇深度分析的方法,研究了Si过渡层沉积条件如电压、气压和气源对Si过渡层的影响;利用薄膜应力分布测试仪和划痕仪,研究了不同沉积条件下制备的Si过渡层对类金刚石薄膜内应力和附着力特性的影响;利用摩擦磨损仪,分析比较了薄膜的摩擦性能.研究表明:DLC薄膜与基底之间形成(Fe +Si +O混合层)/Si/(Si+C混合层)过渡层.过渡层制备过程中,气压、电压和Ar/SiH4比例升高,会导致过渡层中Si层厚度的减小.这种过渡层在一定范围内提高了DLC薄膜与基体之间的结合力,缓解了因薄膜与基底间不匹配而产生的应力.在大气环境下,优化的DLC薄膜与GCr 15钢对偶的摩擦系数及磨损率可低至0.02和8.2×10-14m3/(N· m).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立平	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	57	810	15.0	27.0
2	张广安	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	29	137	7.0	10.0
3	蒲吉斌	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	22	236	8.0	15.0
4	王军军	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	1	8	1.0	1.0