用于MEMS封装的纳米多孔硅气敏特性分析

• 作者: 杨业汕 许高斌 陈兴 马渊明
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔硅(PS) 纳米吸气剂 电化学腐蚀法 气敏特性 灵敏度
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与结构
• 页码范围: 89-93
• 分类号: TP212|TB33
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.02.004

摘要

采用双槽(自制)电化学腐蚀法在p型单晶硅表面制备多孔硅(PS)层,利用AFM技术分析多孔硅的表面形貌.研究分析了电流密度为20～60 mA/cm2时,多孔硅的孔径、孔深和孔隙率,并分析测试了多孔硅对高浓度乙醇的气敏特性.结果表明,在不同的电流密度腐蚀下,孔径都在10 nm左右;随着电流密度的增加,多孔硅的孔深和孔隙率增大且腐蚀的均匀性较好.当电流密度大于40 mA/cm2后,腐蚀的均匀性开始变差,灵敏度波动较大.通过对多孔硅气体吸附灵敏度的分析,在电流密度为40 mA/cm2时,对各浓度的乙醇气体的灵敏度相对稳定,均值达到2.24×106 kΩ,因此该类样品更适用于MEMS高真空封装的纳米吸气剂.