提拉单晶炉自动引晶技术的研究

• 作者: 付昌禄 何晔 佘建军 宋晓佳 李海林 李金 武欢 母江东 邓力
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 提拉法单晶炉 引晶 提拉法(CZ) 红外测温 上称重
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 页码范围: 97-99
• 页数: 3页
• 分类号: TM22+1|TN304.053
• 字数: 910字
• 语种: 中文

摘要

该文从人工引晶工艺流程人手,结合提拉法单晶炉已有技术和温度测控技术,使用计算机编程技术和传感器测量技术完成人工引晶的各项步骤,实现了提拉法单晶炉引晶技术的全自动化,从而实现真正意义上的全自动单晶炉.