基于多体系统理论的精密检测平台空间误差建模与补偿

• 作者: 张东旭 杨峰 杨平 王詹帅 谢银辉 郭隐彪
• 来源期刊: 兵工学报
• 学科: 工学
• 关键词: 仪器仪表技术 精密检测平台 多体系统理论 空间误差 模型 测量方法 补偿
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 页码范围: 501-508
• 页数: 8页
• 分类号: TG743
• 字数: 4073字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2014.04.011

摘要

针对大口径光学元件精密检测平台的工作特点及影响其空间误差的各项几何误差因素,运用多体系统理论,用低序体阵列描述多体系统拓扑结构,建立一种空间误差数学模型.综合应用激光干涉仪、球杆仪和激光位移传感器等仪器设备,提出大口径光学元件精密检测平台各项几何误差和空间误差的测量方法,并对模型中所涉及的各项几何误差进行了系统分析和全面测量,对空间误差进行补偿.误差补偿实验证明所提模型正确有效,将空间误差从补偿前-70.01 ～ 22.14 μm降低到补偿后-4.22 ～5.8 μm,大大提高了精密检测平台的测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭隐彪	厦门大学机电工程系	115	781	14.0	20.0
2	张东旭	厦门大学机电工程系	9	84	6.0	9.0
3	谢银辉	厦门大学机电工程系	5	61	4.0	5.0
4	杨平	厦门大学机电工程系	13	75	4.0	8.0
5	杨峰	厦门大学机电工程系	6	33	3.0	5.0
6	王詹帅	厦门大学机电工程系	4	19	2.0	4.0