基于扩散放气模型的杜瓦真空寿命分析

• 作者: 何江玲 刘湘云 张亚平 朱颖峰
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 杜瓦 真空寿命 扩散放气模型 加速因子 烘烤出气 出气特性
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 28-31
• 分类号: TB7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2014.01.07

摘要

杜瓦真空夹层材料会漏、放气,夹层材料的放气是影响真空寿命的主要因素.材料出气会缩短真空寿命,或者使器件性能下降.在杜瓦制作的排气工艺中,需要更高一些的烘烤温度,或者持续更长的烘烤时间.制定合适的排气工艺就需要了解放气率和温度、时间的函数关系.基于扩散理论,建立起材料的放气模型.使用出气模型分析杜瓦夹层材料放气特性,并借用Sofrar公司提供的数据作参考,对计算公式做标定.根据理论分析,杜瓦夹层材料的出气特性满足加速方程K=exp[(1/T1-1/T2)E/R].根据Sofradir公司提供的数据计算得E/R=7007.72,即每提高10℃的温度,放气加速因子近似为2.应用扩散模型的分析结果,安排烘烤出气实验累积国产杜瓦产品的真空寿命数据.杜瓦置于80℃的恒定温度下持续15天的烘烤,四级质谱仪被用于分析两周内每天的气体变化情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张亚平		2	5	1.0	2.0
2	朱颖峰		1	5	1.0	1.0
3	刘湘云		1	5	1.0	1.0
4	何江玲		1	5	1.0	1.0