低温泵快速再生系统研究

• 作者: 冯驹先 干蜀毅 张霖 徐中堂 徐飞 王硕 谭昱全
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 低温泵 快速再生 加热结构 自动化
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 25-27
• 分类号: TH36
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2014.01.06

摘要

低温泵在当今生产研究过程中应用广泛,但其每工作一段时间后都需要进行“再生”,所需时间长,泵效率低.本文对一种低温泵的吸附阵结构分析并设计了一种结合自动控制功能的快速再生加热系统,该系统由单片机编程控制,自动化程度高,再生时间短,使用方便,为国内低温泵快速再生环节的发展提供借鉴.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	干蜀毅	合肥工业大学机械与汽车工程学院	59	703	12.0	25.0
2	徐飞	合肥工业大学机械与汽车工程学院	12	37	4.0	5.0
3	王硕	合肥工业大学机械与汽车工程学院	30	409	12.0	19.0
4	张霖	合肥工业大学机械与汽车工程学院	6	36	3.0	6.0
5	冯驹先	合肥工业大学机械与汽车工程学院	6	27	3.0	5.0
6	谭昱全	合肥工业大学机械与汽车工程学院	6	24	3.0	4.0
7	徐中堂		1	3	1.0	1.0