石英玻璃金属化的蒙特卡洛模拟

• 作者: 崔新强 李海兵 陈佳
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 蒙特卡洛 金属化 离子注入
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 应用技术 Applied Technology
• 页码范围: 105-108,123
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 2275字
• 语种: 中文

摘要

目的：通过 SRIM 程序模拟,对石英玻璃金属化工艺进行优化。方法对不同情况界面进行对比分析,配合 SRIM 程序模拟,得出理想的金属化界面,提出通过增加阻挡层的方法来得到这种界面。分析 SRIM 程序模拟结果,选取阻挡层分别为5,10,15,20 nm 四种厚度,模拟能量20 keV 的 Ti 离子注入不同厚度阻挡层样品中的射程分布,获取合适的阻挡层厚度,并利用高低温冲击方法进行验证。结果合适的阻挡层厚度范围为10~15 nm,在此范围内,注入的 Ti 离子最大浓度位置集中在金属化层与石英玻璃之间的界面附近。结论利用 SRIM 程序模拟可以得出最佳的阻挡层厚度范围,提高金属化层的性能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李海兵	中国科学院上海光学精密机械研究所	18	120	6.0	10.0
2	陈佳	中国科学院上海光学精密机械研究所	13	90	5.0	9.0
3	崔新强	中国科学院上海光学精密机械研究所	4	12	2.0	3.0