基于微接触印刷的ZnO紫外传感器特性研究

• 作者: 孙永娇 张文栋 胡杰 赵振廷 高翻琴
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微接触印刷 水热法 ZnO纳米线阵列 紫外传感器
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 50-53
• 页数: 4页
• 分类号: TP305
• 字数: 2151字
• 语种: 中文

摘要

采用微接触印刷技术和水热生长方法在硅基底上实现了ZnO种子层的图案化转移与纳米线阵列的可控制备.利用X射线衍射(XRD)、能量色散谱(EDS)和扫描电子显微镜(SEM)等测试手段对制备的ZnO纳米线晶体结构、化学组分以及表面形貌进行了表征,并对制备的ZnO纳米线传感器进行了紫外特性测试.测试结果表明:随着紫外光强度的增加,传感器的光暗电流比和光响应度也随之增加.当紫外传感器偏压在4.5V时,其光暗电流比为80.8,响应度可达4.05 A/W.