适用于微加工工艺的纳米多孔铜制备方法

• 作者: 丁桂甫 岳恒 张丛春 李建华 杨卓青 汪红 赵小林
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电沉积 前驱合金 纳米多孔铜(NPC) 去合金 微加工工艺
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 53-58
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.01.009

摘要

主要研究了一种适用于微加工工艺的纳米多孔铜(NPC)制备方法.采用酸性柠檬酸铜锌电镀体系制备出Cu68Zn32前驱合金,通过改变前驱合金在盐酸中去合金的时间可以对NPC的微观形貌及孔径分布进行有效控制.研究结果表明,在0.05 mol/L的盐酸中腐蚀6h后制备的NPC孔径为80～120 nm,而系带尺寸为20～40呦,利用BET法测得其比表面积为8.12 m2/g.另外,应用微加工工艺制备出边长为50 μm方形微阵列,验证了该NPC制备工艺与微加工工艺有较好的兼容性,为NPC的图形化与集成制造提供一种有效的工艺方案.