不同氧气含量下镍铬系平板集热器选择性吸收薄膜的制备和性能表征

• 作者: 张力元 杨培志 段良飞 自兴发 邓双
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 选择性吸收 镍铬金属-电介质复合膜 磁控溅射 物相结构 光学性能
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 发光学应用及交叉前沿
• 页码范围: 377-381
• 页数: 5页
• 分类号: TB3
• 字数: 3822字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20143503.0377

摘要

采用双极脉冲磁控溅射系统,在不同氧气含量的氩氧混合气体中制备了单层镍-铬金属-电介质复合光谱选择性吸收薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、激光共焦显微拉曼光谱仪、椭偏仪和紫外-可见-近红外分光光度计分别对薄膜的物相结构和光学特性进行了表征.结果表明:实验获得了由金属镍和镍、铬的氧化物(NiO、Cr2O3)组成的复合膜,薄膜对300 ～1 200 nm波段的太阳光有较强的吸收,而对波长大于1 200 nm的太阳光则吸收较弱,具有良好的光谱选择性,可用作高效太阳光谱选择性吸收涂层.