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利用改进扫描线法的面曝光快速成形的掩模图形
利用改进扫描线法的面曝光快速成形的掩模图形
作者:
王亚宁
罗声
胥光申
金京
金矿矿
原文服务方:
西安工程大学学报
面曝光
掩模图形
快速成形扫描线算法
截面轮廓
摘要:
在对掩模图形的生成机理进行研究的基础上,提出用扫描线法生成基于STL数据模型的掩模。针对大数据量的轮廓边扫描效率较低的问题,改进传统的扫描算法:重新定义边数据结构,将边表分为3个动态区间以存储相应的边,从而实现了在无需判断截面曝光域与非曝光的情况下,直接借助边表填充截面轮廓,快速生成具有多层嵌套关系的排模图形。该方法可避免构建与维护活动边表,简化扫描线算法的实现过程,同时可解决传统算法较难解决的奇点问题。
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光学设计
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面曝光
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文献信息
篇名
利用改进扫描线法的面曝光快速成形的掩模图形
来源期刊
西安工程大学学报
学科
关键词
面曝光
掩模图形
快速成形扫描线算法
截面轮廓
年,卷(期)
2014,(6)
所属期刊栏目
机电工程
研究方向
页码范围
730-734
页数
5页
分类号
TP391
字数
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
胥光申
西安工程大学机电工程学院
68
372
10.0
15.0
2
罗声
西安工程大学机电工程学院
22
168
8.0
12.0
3
金京
西安工程大学机电工程学院
19
95
5.0
9.0
4
王亚宁
西安工程大学机电工程学院
4
24
3.0
4.0
5
金矿矿
西安工程大学机电工程学院
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二级引证文献(2)
研究主题发展历程
节点文献
面曝光
掩模图形
快速成形扫描线算法
截面轮廓
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
西安工程大学学报
主办单位:
西安工程大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
1674-649X
CN:
61-1471/N
开本:
大16开
出版地:
邮发代号:
创刊时间:
1986-01-01
语种:
chi
出版文献量(篇)
3377
总下载数(次)
0
总被引数(次)
15983
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