球面光学零件气囊抛光工艺参数优化的研究

• 作者: 姚英学 宋剑锋 谢大纲
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 气囊抛光 球面光学零件 正交实验 材料去除率 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 光学工艺
• 页码范围: 99-104
• 分类号: TH706
• 语种: 中文

摘要

针对球面光学零件,采用气囊抛光方法对其进行加工,以正交实验为实验方法,以球面光学零件材料去除率和表面粗糙度为目标,研究了5个主要影响因素(气囊压缩量、气囊转速、内部压力、抛光液浓度和工件曲率半径)对材料去除率和表面粗糙度的影响程度,并根据实验结果优选工艺参数,找出影响材料去除率和表面粗糙度的工艺参数优化组合.以去除率和表面粗糙度为目标工艺参数,在优选后的结果指导下,根据优选后的工艺参数,以控制表面粗糙度为目标,采用离散进动方式抛光球面光学零件,可获得超精密的光滑表面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢大纲	哈尔滨工业大学机电工程学院	38	652	16.0	24.0
2	宋剑锋	燕山大学机械工程学院	11	116	6.0	10.0
4	姚英学	哈尔滨工业大学机电工程学院	136	2556	28.0	41.0