基于温度场均匀化分析的还原炉底盘结构研究

• 作者: 张灿 张芳 王晓静
• 来源期刊: 化学工业与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅还原炉 底盘 温度场 应力分析
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 化工模拟与计算
• 页码范围: 59-64
• 分类号: TK175
• 语种: 中文
• DOI: 10.13353/j.issn.1004.9533.2014.06.011

摘要

主要研究多晶硅还原炉的底盘结构,通过改进底盘冷却液流道形式,以提高在该底盘结构形式下温度场分布的均匀性及底盘结构的安全性.本文研究的底盘结构采用了限制射流直喷喇叭口式冷却流道,在底盘上滑板下表面不易形成气膜隔层,大大降低了底盘滑板的温差应力,提高了底盘结构的安全性.结合大型多晶硅还原炉的研制要求,应用Fluent对多晶硅还原炉底盘的辐射、导热和对流的传热过程进行了传热分析,得出了底盘内部温度场的分布云图,并在此基础上通过ANSYS对多晶硅还原炉底盘进行了热-结构耦合分析,得到了满足强度、刚度条件下结构的最优化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓静	天津大学化工学院	73	239	7.0	12.0
2	张芳	天津大学化工学院	27	263	9.0	15.0
3	张灿	天津大学化工学院	6	37	3.0	6.0