基于CFD的CVD布气装置模拟与优化设计

• 作者: 杨晓辉 王毅 白龙腾
• 来源期刊: 火箭推进
• 关键词: CFD 布气装置 CVD
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 46-51
• 页数: 6页
• 分类号: V258+.3-34
• 语种: 中文

摘要

采用流体力学有限元模拟方法,对化学气相沉积(CVD)设备系统内流场进行模拟分析,得到平板布气装置中孔径尺寸、孔径分布与预制体局部流场之间的关系,由此优化设计了布气装置,提高了CVD设备布气的均匀性和稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王毅		19	53	4.0	6.0
2	杨晓辉		9	24	2.0	4.0
3	白龙腾		10	25	2.0	4.0