基于旋涂法和电子束蒸发法制备的V2O5/Ag/V2O5叠层透明导电薄膜

• 作者: 佐婧 刘星元 郭晓阳
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶技术 透明导电薄膜 V2O5/Ag/V2O5叠层
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 360-365
• 页数: 6页
• 分类号: TN383+.1
• 字数: 3804字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20143503.0360

摘要

利用溶胶-凝胶技术与电子束蒸镀相结合的方法在常温下制备了叠层V2O5/Ag/V2O5(VAV)透明导电薄膜,研究了各层薄膜厚度对叠层结构光电特性的影响.用原子力显微镜、紫外-可见光分光光度计、四探针电阻仪及开尔文探针对样品的表面形貌、光电性能及功函数等性质进行了表征.实验结果表明,该薄膜具有良好的光学和电学性质,可见光(380 ～ 780 nm)平均透过率达75％,迁移率为16.89 cm2/(V·s),载流子浓度为-1.043×1022 cm-3,方块电阻值为15.1 Ω/□,功函数为5.17 eV.该制备方法降低了V2O5薄膜的工艺制备难度,为该材料在太阳能电池中的应用创造了良好的前期基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘星元	发光学及应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	14	41	4.0	5.0
2	郭晓阳	发光学及应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	20	3.0	4.0
3	佐婧	发光学及应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	4	1.0	1.0