以无机盐为出发原料的喷雾热解法制备ITO薄膜的研究

• 作者: 任洋 段宗范 赵高扬 高赟
• 来源期刊: 西安理工大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 出发原料 喷雾热解 沉积速率 ITO薄膜
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 页码范围: 175-179
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 4200字
• 语种: 中文

摘要

分别以In（NO3）3·4．5H2O与InCl3·4H2O为出发原料、SnCl4·5H2O为掺杂剂、乙酰丙酮（AcAcH）为螯合剂、甲醇为溶剂使用喷雾热解法在普通钠钙玻璃板上制备了 ITO 薄膜。以In（NO3）3·4．5H2O为出发原料沉积ITO薄膜速率慢，沉积出的薄膜无择优取向，其晶粒在100～150 nm之间，品质因数为4．03×10-3Ω-1；而以 InCl3·4H2O为出发原料沉积 ITO薄膜速率快，沉积出的薄膜具有（400）择优取向，其晶粒尺寸在200～400 nm之间，品质因数为5．85×10-3Ω-1。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵高扬	西安理工大学材料科学与工程学院	72	349	10.0	14.0
2	段宗范	西安理工大学材料科学与工程学院	4	11	2.0	3.0
3	高赟	西安理工大学材料科学与工程学院	2	5	1.0	2.0
4	任洋	西安理工大学材料科学与工程学院	4	10	2.0	3.0