铝线键合的等离子清洗工艺研究

• 作者: 钟小刚
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子清洗 铝线 DOE
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 页码范围: 31-33,41
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.96
• 字数: 1535字
• 语种: 中文

摘要

采用DOE（实验设计）方法，通过比较铝线拉力的数值、标准方差及PpK，得到最适合铝线键合工艺的等离子清洗功率、时间和气流速度参数的组合。同时分析了引线框架在料盒中的摆放位置对等离子清洗效果的影响，引线框架置于等离子气体浓度高的位置清洗效果较好，引线拉力值能获得更低的方差和更优的过程控制能力。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟小刚		3	3	1.0	1.0