蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤双片式角度抛光法检测

• 作者: 刘道标 卓志国 周海 徐晓明 臧跃
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 角度抛光 蓝宝石 衬底基片 双面研磨 亚表面损伤 裂纹 斜面倾角
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 仪器仪表/检测/监控
• 页码范围: 118-122,36
• 页数: 6页
• 分类号: TH161+.14
• 字数: 3205字
• 语种: 中文

摘要

针对传统角度抛光法检测的不足，提出将双片式角度抛光法用于蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤层深度的检测。双片式角度抛光法采用双晶片重合黏结的实验晶片组测量抛光斜面腐蚀裂纹，避免了传统角度抛光法因抛光斜面和原晶片平面分界边缘难以辨别而造成的测量误差；使用数显测长仪对实验晶片组抛光斜面加工轮廓进行测量，测量结果代入相应计算公式得出准确的斜面倾角，消除角度取值不准确带来的方法误差，提高了测量精度。经检测得到，单晶面抛光斜面平均裂纹宽度约为175μm、平均斜面倾角为4．91°，双面研磨单晶面亚表面损伤层深度约为15μm，双晶面亚表面损伤层深度约为30μm。双面研磨工艺参数：研磨液采用320＃碳化硼磨粒煤油溶液，研磨初始压力为30g／cm2，研磨终止压力为110g／cm2，研磨盘转速为13r／min。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘道标		28	102	5.0	9.0
2	周海		123	393	10.0	14.0
3	徐晓明		18	68	5.0	7.0
5	臧跃		5	46	4.0	5.0
11	卓志国		7	49	4.0	7.0