化学气相法生长ZnO单晶的热动特性研究

• 作者: 吴卫东 彭丽萍 彭柱 曾体贤 王新明 王雪敏 陈太红
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO单晶 化学气相法 热力学 动力学
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 页码范围: 64-67,92
• 页数: 5页
• 分类号: O736
• 字数: 2595字
• 语种: 中文

摘要

研究了ZnO-C体系化学气相法生长ZnO单晶的Zn、CO、O2、CO2、ZnO气体热力学平衡过程,计算发现主要气相物种为Zn,CO.分析了Zn和CO在N2,Ar,He气体中的扩散系数,发现Ar气既可抑制Zn物质流传输,又可减缓Zn扩散系数随温度升高而递减的趋势,是较适宜的外加气体.建立了ZnO单晶气相生长一维传输模型,揭示了Zn的动力学输运过程,获取了三个温度梯度下(氩气背景压力分别为0 atm、0.5 atm、1 atm)Zn的物质流密度,以及温度梯度、背景压力对最大生长速率的影响.