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TiO2薄膜的制备方法研究
TiO2薄膜的制备方法研究
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摘要：
通过对各种TiO2薄膜制备方法的对比,得到:磁控溅射法是目前制备TiO2薄膜的最佳方法;离子束溅射法和热解法尽管相关研究较少,但是值得进一步研究.
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射频磁控溅射
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关键词云
关键词热度
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文献信息
| 篇名 | TiO2薄膜的制备方法研究 | ||
| 来源期刊 | 云南师范大学学报（自然科学版） | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 二氧化钛 薄膜 制备 | ||
| 年，卷（期） | 2014,（2） | 所属期刊栏目 | 可再生能源研究 |
| 研究方向 | 页码范围 | 52-55 | |
| 页数 | 4页 | 分类号 | TN304.055 |
| 字数 | 3093字 | 语种 | 中文 |
| DOI | 10.7699/j.ynnu.ns-2014-025 | ||
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期刊影响力
云南师范大学学报(自然科学版)
主办单位：
云南师范大学
出版周期：
双月刊
ISSN：
1007-9793
CN：
53-1046/N
开本：
大16开
出版地：
云南昆明市一二一大街298号
邮发代号：
64-74
创刊时间：
1958
语种：
chi
出版文献量（篇）
2229
总下载数（次）
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