微波等离子体化学气相沉积超纳米晶金刚石膜研究

• 作者: 丁明清 冯进军 李莉莉 杜英华 胡银富 蔡军
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 太赫兹 微波真空器件 微波等离子体化学气相沉积 超纳米晶金刚石
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 微波管专辑
• 页码范围: 62-64,71
• 页数: 4页
• 分类号: TB75
• 字数: 1841字
• 语种: 中文

摘要

超纳米晶金刚石(UNCD)在短毫米波特别是太赫兹真空器件输能窗中具有潜在的应用价值.本文介绍了UNCD膜的制备工艺和性能表征.利用微波等离子体化学气相沉积法在一种贫氢、富氩的反应气体中合成UNCD膜.扫描电子显微镜分析表明,合成的UNCD膜表面光滑平整,晶粒为纳米尺度,断面结构致密.X射线衍射分析显示,超纳米晶金刚石薄膜主要是以(220)取向为主的多晶体结构,计算得到的平均晶粒尺寸为10 nm.拉曼光谱分析呈现出典型的超纳米晶金刚石特性,膜中存在一定的sp2相.UNCD的光学透过率测试显示:在波长≥4 μm范围内,光学透过率≥60％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡军	微波电真空器件国家重点实验室北京真空电子技术研究所	2	2	1.0	1.0
2	冯进军	微波电真空器件国家重点实验室北京真空电子技术研究所	3	5	2.0	2.0
3	丁明清	微波电真空器件国家重点实验室北京真空电子技术研究所	2	5	2.0	2.0
4	李莉莉	微波电真空器件国家重点实验室北京真空电子技术研究所	2	5	2.0	2.0
5	杜英华	微波电真空器件国家重点实验室北京真空电子技术研究所	1	2	1.0	1.0
6	胡银富	微波电真空器件国家重点实验室北京真空电子技术研究所	1	2	1.0	1.0