光刻机E-Pin升降机构的控制系统设计

• 作者: 张广莹 徐加彦 范文超 陈兴林
• 来源期刊: 自动化与仪表
• 关键词: DSP2812 E-PIN升降机构 光刻机 音圈电机
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 计算机应用
• 页码范围: 57-60
• 页数: 4页
• 分类号: TP277
• 语种: 中文

摘要

考虑到光刻机E-PIN升降机构吸附硅片做上下往复运动,准确定位、快速性、稳定性的要求,提出了一种基于DSP和FPGA的升降机构控制系统设计和实现方法.以TI公司的DSP2812为控制器,Altera公司的EP3C25E144C3N作为可编程逻辑器件,设计了信号采集模块,规划了控制系统的整体框架,定义了通信传输协议.详细介绍了控制系统的运动控制模块、传感器模块、驱动电路、音圈电机执行机构等方面的设计.通过实验证明,该控制系统运行可靠,准确性、稳定性达到要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈兴林	哈尔滨工业大学航天学院	164	1267	18.0	24.0
2	张广莹	哈尔滨工业大学航天学院	22	273	9.0	16.0
3	徐加彦	哈尔滨工业大学航天学院	9	34	3.0	5.0
4	范文超	哈尔滨工业大学航天学院	6	48	2.0	6.0