复曲面镜抛光工艺技术研究

• 作者: 付秀华 张珈珲
• 来源期刊: 长春理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 复曲面 铣磨 抛光 边缘效应
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 页码范围: 25-27,31
• 页数: 4页
• 分类号: TN205
• 字数: 1864字
• 语种: 中文

摘要

针对Rx为250.7mm，Ry为165.7mm的复曲面透镜，进行了数控研磨和抛光技术研究，给出了批量生产的加工工艺流程，实现了复曲面元件的快速、确定性抛光。通过对复曲面加工的研究，在抛光中对其面型误差进行反馈补偿。最终加工的面型精度小于0.158μm （λ/4），半径公差控制在±0.5mm以内，满足了光学系统中对复曲面元件的要求，并且在保证有较高面型精度和较好表面光洁度的同时，解决了复曲面镜的边缘效应和中心厚度难以控制等加工技术问题。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付秀华	长春理工大学光电工程学院	141	525	11.0	15.0
2	张珈珲	长春理工大学光电工程学院	1	3	1.0	1.0