高功率激光电离垂直飞行时间质谱技术应用于薄层的快速深度分析

• 作者: 何妙洪 余淑媛 刘志红 李彬 杭纬 黄本立
• 来源期刊: 分析化学
• 关键词: 激光电离 飞行时间质谱 薄层 深度分析
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 16-20
• 页数: 5页
• 字数: 3585字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1096.2014.30832

摘要

高功率激光电离垂直飞行时间质谱(LI-O-TOFMS)应用于薄层的深度分析是目前一项相对新颖的分析技术,不仅可以分析薄层的厚度,而且可以同时确定其中的元素组成及其随深度的分布情况.激光参数:波长532 nm,脉宽4.5 ns,功率密度9× 109 W/cm2.该项分析技术可以分析单镀层和多镀层的薄层样品.薄层的分辨厚度范围达到微米水平.相比其它薄层分析技术,LI-O-TOFMS是一项多功能的深度分析工具.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李彬		16	148	8.0	12.0
2	刘志红		31	441	12.0	20.0
3	黄本立	厦门大学化学化工学院	32	172	8.0	12.0
4	杭纬	厦门大学化学化工学院	18	82	5.0	8.0
5	余淑媛		15	58	5.0	7.0
6	何妙洪	厦门大学化学化工学院	3	2	1.0	1.0