精密模具大面积微结构电铸制备工艺研究

• 作者: 江树镇 罗红平 郑文书 郭钟宁 陈日
• 来源期刊: 南京航空航天大学学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 大面积微结构 均匀性 电化学沉积 侧壁陡直度 二次辅助阴极
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 页码范围: 804-809
• 页数: 6页
• 分类号: V261.5
• 字数: 3459字
• 语种: 中文

摘要

对精密模具大面积微结构的电铸制备工艺进行了研究.研究了掩膜厚度、化学微蚀刻、二次辅助阴极对精密模具大面积微结构电铸成型的影响.结果表明,化学微蚀刻能进一步去除显影残胶,提高镀层微结构与模具基板的结合力.在曝光时间为100 s,曝光能量为750～810 mJ/cm2的曝光工艺条件下,掩膜厚度在130～160 μm时,可以得到线宽为100 μm侧壁陡直度较好的精密模具微结构.采用外加电势的二次辅助阴极三电极电铸体系可以提高铸层的均匀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭钟宁	广东工业大学机电工程学院	197	1090	16.0	23.0
2	罗红平	广东工业大学机电工程学院	21	101	6.0	9.0
3	陈日	广东工业大学机电工程学院	6	36	3.0	6.0
4	郑文书	广东工业大学机电工程学院	7	29	3.0	5.0
5	江树镇	广东工业大学机电工程学院	6	14	2.0	3.0