一种检测平晶和透镜面形的方法

• 作者: 宋增超 张丰 范冰清
• 来源期刊: 上海计量测试
• 关键词: 干涉仪 平面检测 球面检测 干涉条纹
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文 Academic Papers
• 页码范围: 23-25
• 页数: 3页
• 字数: 2150字
• 语种: 中文

摘要

介绍了数字式激光平面干涉仪的测量优势，阐述了利用其进行平面和球面面形的测量方法，弥补了传统平面等厚干涉仪只能测量平面平晶的不足。同时分析了影响测量结果的几个因素，并利用ZEMAX软件模拟平晶位置，观察干涉条纹。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张丰		11	21	3.0	4.0
2	范冰清		2	1	1.0	1.0
3	宋增超		3	3	1.0	1.0