基于高温烧结氧化铝陶瓷的无线无源温度传感器

• 作者: 任重 李晨 熊继军 蔡婷 谭秋林 郑庭丽
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 无线无源传感器 温度 高温烧结 氧化铝陶瓷 谐振频率
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 无线传感器技术
• 页码范围: 654-657
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2097字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.05.016

摘要

通过高温烧结技术获得了总体尺寸为28 mm×28 mm×0.47 mm的氧化铝陶瓷基板,结合厚膜技术在该基板上印刷无源LC串联谐振电路,设计并制备了一种基于氧化铝陶瓷的无线无源温度传感器。在18℃~300℃的温度范围内实现了传感器的无线测试,测试结果表明该温度传感器呈现出了良好的线性特征,线性范围大且非线性误差小,其谐振频率对温度的灵敏度约为2.75 kHz/℃,可应用于高温恶劣环境下的温度检测。